프로젝트
부품 처짐 방지기
정상 동작
Flow Switch에 정상적으로 전원이 공급됩니다.
정전
시스템은 장비에서 Flow Switch로 공급되는 전원을 모니터링합니다.
정전이 발생하면 설정된 Setting Time까지 Flow Switch에 전원을 계속 공급하며 Flow Switch의 신호를 장비에 전달합니다.
설정 시간이 도달하면 Flow Switch로의 전원 공급이 차단되고 신호 전송이 중단됩니다.
전원 복구
Flow Switch에 정상적으로 전원이 공급되며, Flow Switch의 신호가 장비로 전달됩니다.
ASML Secuipment
통합 관리
- SecuipSingle(Secuipment S/W)를 통해 다양한 제조사의 원격 제어 도구 통합 관리
- 서드파티 제어 프로그램 불필요
- 모든 사용자는 SecuipSingle 서버 기반 유지보수 기능을 통해 통합된 실시간 원격 제어 리스트 접근 및 활용 가능
인프라 / 사무실 활용
- RCS 룸 또는 사무실 대형 TV에서 SecuipSingle MultiView 기능 활용
- 실시간 관찰이 필요한 모든 주요 장비를 한 화면에서 모니터링
- 문제 발생 시 즉시 대응 가능
요약
- ASML 메인 PC → 장비(HW) 연결
- 실시간 원격 제어 및 모니터링
- 24시간 화면 기록, 검토 및 다운로드
- 다수 Secuipment 장비 중앙 운영 및 제어
포토 ESC 척
(포토 척 / 진공 척)
ASML 포토 척
Canon 포토 척
Nikon 포토 척
기술 역량
검사 보고서 샘플
